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Gigaphoton開發光譜寬度控制技術hMPL (2017.09.12)
半導體光刻光源供應商Gigaphoton 株式會社宣佈,公司已經開發出採用最新光學設計製造技術的光譜寬度控制技術“hMPL。hMPL已經在晶片廠家的實機測評中獲得高度評價,今後或將用於先進的半導體製造工藝
搶佔領先地位 歐、日巨資投資EUV技術 (2002.10.28)
自英特爾(Intel)名譽主席Gordon Moore於今年7月對外表示,唯有開發EUV(超紫外光線)技衖,摩爾定律才能再次回到二年一個周期的定律,根據外電消息,歐洲、日本為達到半導體技術領先的目標,不惜巨資投資開發EUV系統;眾多歐盟成員國未來將對EUV各項領域,投資1億美元研發;日本多企業也分別成立EUV計畫小組


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