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KLA-Tencor推出全新FlashScanTM產品線
針對光學和EUV空白光罩應用

【CTIMES 報導】   2017年08月18日 星期五

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KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩檢測產品線,自從1978年公司推出第一台檢測系統以來,KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應商,新的FlashScan產品線宣告公司進入專用空白光罩的檢驗市場。 光罩坯件製造商需要針對空白光罩的檢測系統,用於制程開發和批量生產過程中的缺陷檢測,此外,光罩製造商(“掩模廠”)為了進行光罩原料檢測,設備監控和進程控製也需要購買該檢測系統。 FlashScan系統可以檢查針對光學或極紫外(EUV)微影的空白光罩。

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“先進的微影技術從表徵良好的空白光罩開始。”KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測部總經理熊亞霖博士指出,“無缺陷的EUV光罩坯件極難製造,這不僅推高了生產成本,也推延了EUV光刻可能帶給下一代晶片製造的惠益。 我們全新的FlashScan空白光罩檢測儀可以在裸基板,吸收膜和光阻塗層上捕獲各種類型的缺陷。 此外,對比目前市場上的其他系統, FlashScan系統具有更高的產量和靈敏度,這將縮短空白光罩製造商和掩模廠的學習週期時間。”

利用KLA-Tencor晶圓缺陷檢測系統的激光散射技術,FlashScan系統可以滿足目前所有正在開發和生產的光學與EUV空白光罩對於靈敏度和檢測速度要求。採用光罩檢測市場獨特的三通道數據採集系統,該系統可以對各種類型的光罩坯件的缺陷進行檢測,尺寸測量和區分,例如在空白光罩製造或運輸期間可能出現在光阻上的針孔和掉落顆粒。

領先的掩模廠對高靈敏度、高產量和全類型的缺陷檢測系統顯示了濃厚的興趣,這證明了市場對該產品的需求。為了保證空白和圖案光罩製造商所需的優異性能和產量,FlashScan系統由KLA-Tencor全球綜合服務網絡 提供技術支持。有關新FlashScan產品系列的更多信息(包括當前型號的說明)請查閱FlashScan的網頁。

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